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    【T系列—聲表掃描儀】
    系統配置:
    用途
    1、微觀尺寸、套刻分析 2、點距測量 3、缺陷標注
    型號
    TJC-950UV
    載物臺
    手動/自動載物臺可選
    行程:158mm X 158mm
             210mm X 210mm
    探測系統
    高品質工業用顯微鏡,5X~150X物鏡可選
    成像系統
    高品質CCD成像系統
    照明系統
    透射、反射照明可選,可切換明、暗場觀察法
    夾具
    支持夾具定制:
    —用于劃片觀測的夾具,可實現夾緊、旋轉及
    在0°、90°、180°、270°的鎖定功能
    —用于裸片觀測的夾具,以NOTCH作為機械定位
    基準,實現真空吸附功能
    反饋系統
    線性反饋尺,解析率:1.0um/ 0.1um可選
    隔振系統
    隔振平臺,有效隔離高頻振動
    軟件系統
    全功能圖像處理圖像處理軟件系統及批處理測控語言,支持拼圖功能,提供各類數據庫接口,可將測量結果上傳至工藝主控終端
    檢查性能
    微觀兩維尺寸檢測3σ≦5nm,精度±5um
    外觀尺寸
    長:1200mm 寬:800mm 高:1500mm
    附加機構  自動上下片裝卸裝置及激光自聚焦系統可選
    軟件特點:
     
     
     
     
    版權所有:蘇州愛特盟光電有限公司 蘇ICP備15029769號-1    關于我們 產品信息 資質榮譽 技術反饋 資料下載 聯系我們
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