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  • 首页 > 产品信息

    【T系列—声表扫描仪】
    系统配置:
    用途
    1、微观尺寸、套刻分析 2、点距测量 3、缺陷标注
    型号
    TJC-950UV
    载物台
    手动/自动载物台可选
    行程:158mm X 158mm
             210mm X 210mm
    探测系统
    高品质工业用显微镜,5X~150X物镜可选
    成像系统
    高品质CCD成像系统
    照明系统
    透射、反射照明可选,可切换明、暗场观察法
    夹具
    支持夹具定制:
    —用于划片观测的夹具,可实现夹紧、旋转及
    在0°、90°、180°、270°的锁定功能
    —用于裸片观测的夹具,以NOTCH作为机械定位
    基准,实现真空吸附功能
    反馈系统
    线性反馈尺,解析率:1.0um/ 0.1um可选
    隔振系统
    隔振平台,有效隔离高频振动
    软件系统
    全功能图像处理图像处理软件系统及批处理测控语言,支持拼图功能,提供各类数据库接口,可将测量结果上传至工艺主控终端
    检查性能
    微观两维尺寸检测3σ≦5nm,精度±5um
    外观尺寸
    长:1200mm 宽:800mm 高:1500mm
    附加机构  自动上下片装卸装置及激光自聚焦系统可选
    软件特点:
     
     
     
     
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