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    【T系列—標尺計量儀】

    系統配置:
    用途
    1、微觀尺寸、套刻分析 2、點距測量 3、缺陷標注
    型號
    TJC-105L
    載物臺
    全自動載物臺,
    行程:105mm X 105mm
    探測系統
    工業顯微鏡,綜合放大倍率8.0X ~100X
    成像系統
    高品質CCD成像系統
    照明系統
    同軸、環形照明可選
    夾具
    支持夾具定制:
    —用于劃片觀測的夾具,可實現夾緊、旋轉及
    在0°、90°、180°、270°的鎖定功能
    —用于裸片觀測的夾具,以NOTCH作為機械定位
    基準,實現真空吸附功能
    反饋系統
    線性反饋尺,解析率:1.0um/ 0.1um可選
    隔振系統
    隔振平臺,有效隔離高頻振動
    軟件系統
    全功能圖像處理軟件系統及批處理測控語言,支持拼圖功能,提供各類數據庫接口,可將測量結果上傳至工藝主控終端
    檢查性能
    微觀兩維尺寸檢測3σ≦0.2um,精度±0.2um
    外觀尺寸
    主機外觀尺寸:
    550mm *550mm *700mm
     
    測量實例:
     
     
    版權所有:蘇州愛特盟光電有限公司 蘇ICP備15029769號-1    關于我們 產品信息 資質榮譽 技術反饋 資料下載 聯系我們
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