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    【T系列—标尺计量仪】

    系统配置:
    用途
    1、微观尺寸、套刻分析 2、点距测量 3、缺陷标注
    型号
    TJC-105L
    载物台
    全自动载物台,
    行程:105mm X 105mm
    探测系统
    工业显微镜,综合放大倍率8.0X ~100X
    成像系统
    高品质CCD成像系统
    照明系统
    同轴、环形照明可选
    夹具
    支持夹具定制:
    —用于划片观测的夹具,可实现夹紧、旋转及
    在0°、90°、180°、270°的锁定功能
    —用于裸片观测的夹具,以NOTCH作为机械定位
    基准,实现真空吸附功能
    反馈系统
    线性反馈尺,解析率:1.0um/ 0.1um可选
    隔振系统
    隔振平台,有效隔离高频振动
    软件系统
    全功能图像处理软件系统及批处理测控语言,支持拼图功能,提供各类数据库接口,可将测量结果上传至工艺主控终端
    检查性能
    微观两维尺寸检测3σ≦0.2um,精度±0.2um
    外观尺寸
    主机外观尺寸:
    550mm *550mm *700mm
     
    测量实例:
     
     
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