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    晶体扫描仪—激光扫描】
    专利号:ZL201220161303.8
     
    能描述:
    1. 快速检测光学平面、声光晶体等光滑表面的微小缺陷,包括划痕、颗粒、脏污等典型缺陷;
    2. 快速检测薄膜太阳能电池片等镀膜表面的缺膜及定性测量膜厚均匀度;
    3. 扫描速度:>550mm2/秒;
    4. 检测灵敏度高,检测口径大,特别适合工业生产中在线检测;
    5. 检测结果可根据用户要求进行自动分析、归类、统计,可有效提高生产效率及良率。
     
     
    系统配置:
     
    用途
    快速检测光滑表面微小缺陷及污迹;镀膜表面的缺膜等
    型号
    XTL-3K
    光源
    532nm单模连续激光
    信号采集
    高灵敏度光电探测器、前置放大、16通道高速A/D卡
    载物台
    全自动扫描载物台
    行程:158x158mm(不拼接),  210x210mm(拼接)
    支持夹具定制
    反馈系统
    线性反馈尺; 解析率:0.1um/1.0um可选
    软件系统
    包含运动控制、激光扫描、信号采集、图像处理等功能
    检查性能
    分辨率:2um
    隔震系统
    隔振平台,有效隔离高频振动
    标配外观尺寸
    长:1200mm   宽:800mm   高:1500mm
     
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