• <rp id="ljqff"><acronym id="ljqff"><input id="ljqff"></input></acronym></rp> <button id="ljqff"><acronym id="ljqff"></acronym></button>
    <rp id="ljqff"></rp>

  • <rp id="ljqff"><acronym id="ljqff"><u id="ljqff"></u></acronym></rp>
  • <legend id="ljqff"></legend>

  • 首页 > 产品信息

     

    W系列—弧高台阶仪
     专利号:ZL201120280620.7

     

    探测系统:

    显微探头:实现快速弧高及台阶测量,可测弧高台阶范围50~2000μm(一般弧高的高度不超过800μm),并支持器件几何尺寸测量;
    激光探头:

    实现快速台阶测量,可测台阶范围2~500μm,并支持表面轮廓扫描。

     

    系统配置:

    用途
    1.弧高测量 2.台阶测量 3.器件尺寸测量
    型号
    WB-70RX
    载物台
    全自动载物台
    行程:105mm X 105mm
    支持夹具定制
    聚焦
    电动聚焦系统,解析率:1.0μm
    显微探头:含影像自动聚焦及特有双ROI长焦扫描功能
    激光探头:含影像辅助定位功能
    照明系统
    环形、同轴照明可选
    软件系统
    图像处理软件系统,
    带虚拟弧高算法功能及SPC控制模块
    检查性能
    显微探头:高度测量3σ≤3.0μm,精度±3um;
    激光探头:高度测量3σ≤0.2μm,精度±0.2um;
    标配外观尺寸
    长:800mm  宽:750mm  高:1500mm

     

     

     

     

    版权所有:苏州爱特盟光电有限公司 苏ICP备15029769号-1    关于我们 产品信息 资质荣誉 技术反馈 资料下载 联系我们
    无码一区
  • <rp id="ljqff"><acronym id="ljqff"><input id="ljqff"></input></acronym></rp> <button id="ljqff"><acronym id="ljqff"></acronym></button>
    <rp id="ljqff"></rp>

  • <rp id="ljqff"><acronym id="ljqff"><u id="ljqff"></u></acronym></rp>
  • <legend id="ljqff"></legend>