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    T系列—納微檢測儀
     
     專利號:ZL201220088148.1
     
    功能描述:   
    1. 可測微觀尺寸范圍:0.5~1000微米;
    2. 專利套刻算法軟件系統,可換算9大套刻工藝參數;
    3. 高精度開放式線性反饋系統,可測點距范圍:1.0~200毫米;
    4. 全面的觀察手段:自由切換透射、反射、環形照明及明、暗場觀察法;
    5. 高精度快速自動聚焦,排除人為誤差;
    6. 配備安全的電氣及操作防護系統,保障運行更安全穩定。
     
     
    系統配置:
     
    用途
    1. 微觀尺寸、套刻分析  2. 點距測量  3. 缺陷標注
    型號
    TJC-750A
    載物臺   
    行程:158mm x 158mm/210mm x 210mm可選
    手動/自動載物臺可選,自動上下片裝卸裝置可選
    支持夾具定制
    反饋系統
    線性反饋尺,解析率:1.0um/ 0.1um可選
    聚焦
    電動聚焦系統,影像/ 激光自動聚焦可選
    探測系統
    高品質工業用顯微鏡,5x~150x 物鏡可選
    照明系統
    透射、反射照明可選,可切換明、暗場觀察法
    軟件系統
    全功能圖像處理軟件系統及批處理測控語言,支持拼圖功能,
    提供各類數據庫接口,可將測量結果上傳至工藝主控終端
    檢查性能
    微觀兩維尺寸檢測3σ≤10納米,
    精度 ±10納米
    全行程點距誤差 (2+2L/100)um, L:行程(mm)
    隔震系統
    隔振平臺,有效隔離高頻振動
    標配外觀尺寸
    長:1200mm   寬:800mm   高:1500mm
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