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    T系列—纳微检测仪
     
     专利号:ZL201220088148.1
     
    功能描述:   
    1. 可测微观尺寸范围:0.5~1000微米;
    2. 专利套刻算法软件系统,可换算9大套刻工艺参数;
    3. 高精度开放式线性反馈系统,可测点距范围:1.0~200毫米;
    4. 全面的观察手段:自由切换透射、反射、环形照明及明、暗场观察法;
    5. 高精度快速自动聚焦,排除人为误差;
    6. 配备安全的电气及操作防护系统,保障运行更安全稳定。
     
     
    系统配置:
     
    用途
    1. 微观尺寸、套刻分析  2. 点距测量  3. 缺陷标注
    型号
    TJC-750A
    载物台   
    行程:158mm x 158mm/210mm x 210mm可选
    手动/自动载物台可选,自动上下片装卸装置可选
    支持夹具定制
    反馈系统
    线性反馈尺,解析率:1.0um/ 0.1um可选
    聚焦
    电动聚焦系统,影像/ 激光自动聚焦可选
    探测系统
    高品质工业用显微镜,5x~150x 物镜可选
    照明系统
    透射、反射照明可选,可切换明、暗场观察法
    软件系统
    全功能图像处理软件系统及批处理测控语言,支持拼图功能,
    提供各类数据库接口,可将测量结果上传至工艺主控终端
    检查性能
    微观两维尺寸检测3σ≤10纳米,
    精度 ±10纳米
    全行程点距误差 (2+2L/100)um, L:行程(mm)
    隔震系统
    隔振平台,有效隔离高频振动
    标配外观尺寸
    长:1200mm   宽:800mm   高:1500mm
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